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本产品在高真空状态下，实现高精度、高分解的革命性并且简单易操作的ULVAC新型残留气体分析仪。集合了各种生产线的设备技术人士的要求，研发产生了这种新型气体分析仪器。最适用于溅射设备的过程管理。
● 显示与测试一体设计（不用PC电脑也可测定）
● 操作简单－One Click功能（任何人都可以简单操作、无需复杂过程）
● 在过程监控时无需差动排气（可在1Pa以下进行测定、并可节省空间）
● 同时具有测漏功能
● 可测气体全压力
● 标准配有Qulee QCS软件
● QIP（Quick Install Package System）作为配件可供选择
用途
● 对制造太阳能电池?FPD?半导体等各种设备（溅射设备）的过程监控
● 溅射设备的残留气体分析
● 溅射设备的杂质（H2O）的管理
● 各种真空设备的测漏